DEVICE AND METHOD OF MOLECULAR RAY EPITAXY,申请号JP19880058262-传众专利搜索

发明名称	DEVICE AND METHOD OF MOLECULAR RAY EPITAXY
摘要
申请公布号	JPH01234389(A)	申请公布日期	1989.09.19
申请号	JP19880058262	申请日期	1988.03.14
申请人	HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK	发明人	NAKAMURA HITOSHI;ITO KAZUHIRO;MATSUDA HIROSHI;FUKUZAWA TADASHI
分类号	H01L21/203;C30B23/08	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
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