发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01231351(A) 申请公布日期 1989.09.14
申请号 JP19880056317 申请日期 1988.03.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSHINO KAZUHIRO
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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