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发明名称 MANUFACTURE OF MOS-TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01231377(A) 申请公布日期 1989.09.14
申请号 JP19880057556 申请日期 1988.03.11
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 UENO KATSUNORI
分类号 H01L29/78;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/739 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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