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经营范围
发明名称
WAFER TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01231316(A)
申请公布日期
1989.09.14
申请号
JP19880055957
申请日期
1988.03.11
申请人
SHINETSU SEKIEI KK
发明人
KIMURA HIROSHI
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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