| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01230781(A) |
申请公布日期 |
1989.09.14 |
| 申请号 |
JP19880055258 |
申请日期 |
1988.03.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
IWASAKI MASANOBU;ITO HIROMI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/22;C23C14/34;C23C16/14;C23C16/46 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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