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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING METAL WIRING
摘要
申请公布号 JPH01230251(A) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 JP19880056913 申请日期 1988.03.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANAKA HITOSHI
分类号 H01L21/3205;C23C16/48;(IPC1-7):H01L21/88 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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