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发明名称 CONTACT-HOLE FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01230252(A) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 JP19880055704 申请日期 1988.03.09
申请人 SHARP CORP 发明人 HASEGAWA MASAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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