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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01230226(A)
申请公布日期
1989.09.13
申请号
JP19880191062
申请日期
1988.07.28
申请人
DAIDO SANSO KK
发明人
YOSHINO AKIRA;WATABE TEIJI;KUROMIYA SHIGERU
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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