| 发明名称 |
FORMATION OF SUPERCONDUCTIVE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01230275(A) |
申请公布日期 |
1989.09.13 |
| 申请号 |
JP19880056809 |
申请日期 |
1988.03.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
TAKESHITA TAKUO;SUGIHARA TADASHI |
| 分类号 |
C23C14/58;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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