Device for ellipsometric analysis, method for the ellipsometric analysis of a sample, and use in the measurement of thickness variation of thin layers.

摘要

Appareil d'analyse d'échantillons (E) par ellipsométrie, et procédé d'analyse. Le faisceau lumineux (F) passe par un polariseur (4), une lame biréfringente (5) tournante (ω) et un analyseur (6). La mesure utilise les harmoniques deux et quatre de la vitesse de rotation de la lame (5). Application en particulier à la croissance et la gravure des couches minces.