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发明名称 VORRICHTUNG ZUR GASZUFUEHRUNG UND -ABLEITUNG FUER DIE GASPHASENBEARBEITUNG VON WERKSTUECKEN
摘要
申请公布号 DD271776(A1) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 DD19880315447 申请日期 1988.05.06
申请人 VEB ELEKTROMAT DRESDEN,DD 发明人 MOELLER,RAINER,DD;RESCH,DIETMAR,DD;ELSNER,IRIS,DD;MENZEL,SIEGFRIED,DD;PAUL,WOLFRAM,DD
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/52 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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