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发明名称 SEMICONDUCTOR-CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH01230222(A) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 JP19880054796 申请日期 1988.03.10
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 OKI YOSHIMASA;KAMIJO TAKESHI;SUGIYAMA NAOHARU;YAMADA MASAMICHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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