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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERGRABENER AETZSTOPSCHICHTEN IN SILICIUM
摘要
申请公布号 DD271777(A1) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 DD19880315325 申请日期 1988.05.03
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 SCHMIDT,BERND,DD;KREISSIG,ULRICH,DD;SKORUPA,WOLFGANG,DD
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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