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发明名称 METHOD OF PRODUCING THE GATE ELECTRODE OF A FILED EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP0268298(A3) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 EP19870117099 申请日期 1987.11.19
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LIMITED 发明人 SHIKATA, SHINICHI C/O YOKOHAMA WORKS;HAYASHI, HIDEKI C/O YOKOHAMA WORKS
分类号 H01L21/027;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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