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发明名称 Method of and apparatus for controlling floating zone of semiconductor rod
摘要
申请公布号 US4866230(A) 申请公布日期 1989.09.12
申请号 US19870132191 申请日期 1987.12.11
申请人 SHIN-ETU HANDOTAI COMPANY, LIMITED 发明人 IKEDA, YASUHIRO;SUZUKI, KUNIO;WATANABE, MASATAKA;OHARA, NOBUHIRO
分类号 C30B13/30 主分类号 C30B13/30
代理机构 代理人
主权项
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