发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01228151(A) 申请公布日期 1989.09.12
申请号 JP19880055209 申请日期 1988.03.08
申请人 NEC CORP 发明人 MURASE MASAMICHI
分类号 H01L21/316;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/66 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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