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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01228168(A) 申请公布日期 1989.09.12
申请号 JP19880053655 申请日期 1988.03.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO YASUHISA;FURUMURA YUJI
分类号 H01L29/43;H01L21/205;H01L21/28 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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