发明名称 HEAT TREATMENT FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01228136(A) 申请公布日期 1989.09.12
申请号 JP19880055604 申请日期 1988.03.09
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 YAMADA YOSHIHIDE;NIIZAWA MASAHARU;YAMADA HIDEO;OKUBO SEIICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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