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发明名称 SUBSTRATE CHUCK APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01228574(A) 申请公布日期 1989.09.12
申请号 JP19880050612 申请日期 1988.03.05
申请人 ABE MITSUE 发明人 ABE MITSUE
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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