| 发明名称 |
THIN FILM RESISTANCE VALUE DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01227907(A) |
申请公布日期 |
1989.09.12 |
| 申请号 |
JP19880055682 |
申请日期 |
1988.03.09 |
| 申请人 |
JAPAN RADIO CO LTD |
发明人 |
OHASHI HIROSHI;INAOKA TAKAYUKI |
| 分类号 |
G01B7/06;G01R27/02;H01L21/66;H01L27/01;H05K1/16 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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