| 发明名称 |
BASE PLATE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01227438(A) |
申请公布日期 |
1989.09.11 |
| 申请号 |
JP19880053280 |
申请日期 |
1988.03.07 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HORIUCHI TAKAO;ARAI IZUMI;TAWARA YOSHIFUMI |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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