| 发明名称 |
FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT PIEZORESISTIVT MOTSTAONDSELEMENT SAMT EN ANORDNING SOM TILLAEMPAR FOERFARANDET OCH EN MED FOERFARANDET FRAMSTAELLD GIVARE SPECIELLT EN TRYCKGIVARE ELLER MOTSVARANDE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI78782(C) |
申请公布日期 |
1989.09.11 |
| 申请号 |
FI19860000120 |
申请日期 |
1986.01.10 |
| 申请人 |
VALMET OY, |
发明人 |
TURUNEN,MARKUS;KARAILA,ILKKA |
| 分类号 |
H01L21/205;G01L1/22;G01L9/00;H01C10/10;H01C17/075;H01L21/263;H01L21/268;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/18 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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