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发明名称 TREATMENT OF INDIUM-PHOSPHORUS SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01226796(A) 申请公布日期 1989.09.11
申请号 JP19880052284 申请日期 1988.03.04
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KUWATA NOBUCHIKA
分类号 C30B25/18;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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