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经营范围
发明名称
HIGH-FREQUENCY ACCELERATION ION IMPLANTING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01227345(A)
申请公布日期
1989.09.11
申请号
JP19880052354
申请日期
1988.03.04
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
KAIMOTO AKIRA
分类号
H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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