发明名称 |
MANUFACTURE OF SUPERCONDUCTING THIN-FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01227480(A) |
申请公布日期 |
1989.09.11 |
申请号 |
JP19880054202 |
申请日期 |
1988.03.08 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UEDA ICHIRO |
分类号 |
H01L39/24;C03C17/245;C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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