发明名称 MOLECULAR BEAM SOURCE CELL
摘要
申请公布号 JPH01226793(A) 申请公布日期 1989.09.11
申请号 JP19880054344 申请日期 1988.03.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO KAZUHIKO
分类号 H01L21/203;C30B23/08 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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