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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM GROWTH OF SILICON
摘要
申请公布号
JPH01226791(A)
申请公布日期
1989.09.11
申请号
JP19880053966
申请日期
1988.03.07
申请人
NEC CORP
发明人
HIRAYAMA HIROYUKI
分类号
H01L21/203;C30B23/04;C30B23/08;C30B29/06
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
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