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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING FLOW RATE
摘要
申请公布号 JPH01227012(A) 申请公布日期 1989.09.11
申请号 JP19880051481 申请日期 1988.03.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KITA OSAMU;OKABAYASHI YOSHIO
分类号 G01F1/42;G01F13/00;G05D7/06 主分类号 G01F1/42
代理机构 代理人
主权项
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