CHARGED CORPUSCULAR BEAM DEVICE,申请号JP19880053996-传众专利搜索

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发明名称	CHARGED CORPUSCULAR BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01227342(A)	申请公布日期	1989.09.11
申请号	JP19880053996	申请日期	1988.03.08
申请人	JEOL LTD	发明人	SAWARAGI HIROSHI
分类号	H01J37/147;H01J37/153	主分类号	H01J37/147
代理机构		代理人
主权项
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