发明名称 CORE TUBE
摘要
申请公布号 JPH01225314(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880052065 申请日期 1988.03.04
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 IMAMURA TORU
分类号 H01L21/31;H01L21/22;H01L21/223 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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