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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01225367(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880052160 申请日期 1988.03.04
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAOKI
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
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