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发明名称 SUBSTRATE INCORPORATING DEVICE OF CLEANER
摘要
申请公布号 JPH01226155(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880051516 申请日期 1988.03.07
申请人 HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 WADA MASABUMI;SATO HAJIME;KUBOSAWA MINORU
分类号 H01L21/304;B08B3/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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