发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01225316(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880051338 申请日期 1988.03.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOGAMI TAKESHI
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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