发明名称 SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH01225313(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880052324 申请日期 1988.03.04
申请人 MITSUBISHI CABLE IND LTD 发明人 HATTORI KUNIHIRO;OKAGAWA HIROAKI;TADATOMO KAZUYUKI
分类号 H01L21/203;H01L21/20;H01L21/208 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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