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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0129533(Y2) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19820101963U 申请日期 1982.07.06
申请人 发明人
分类号 H01L33/00;G01D11/28;G12B11/00;H05B37/02 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
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