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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01226156(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880051555 申请日期 1988.03.07
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KUNII YASUO;SAKAKIBARA YUTAKA
分类号 H01L21/304;B08B7/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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