发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01225331(A) 申请公布日期 1989.09.08
申请号 JP19880052056 申请日期 1988.03.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKAMOTO YOSHIHIKO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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