发明名称 IC CONVEYING MECHANISM FOR AUTO HANDLER
摘要
申请公布号 JPH01224681(A) 申请公布日期 1989.09.07
申请号 JP19880051379 申请日期 1988.03.04
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 KAWAHARA SHOICHI
分类号 G01R31/26;B23P19/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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