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经营范围
发明名称
IC CONVEYING MECHANISM FOR AUTO HANDLER
摘要
申请公布号
JPH01224681(A)
申请公布日期
1989.09.07
申请号
JP19880051379
申请日期
1988.03.04
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
KAWAHARA SHOICHI
分类号
G01R31/26;B23P19/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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