发明名称 ELECTRON BEAM MACHINE
摘要
申请公布号 JPH01224180(A) 申请公布日期 1989.09.07
申请号 JP19880051026 申请日期 1988.03.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARAKAWA KIYUUZOU
分类号 H01J37/248;B23K15/00;B23K15/02;H01J37/30 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
主权项
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