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发明名称
ETCHING OF TITANIUM CARBIDE FILM AND TITANIUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH01223733(A)
申请公布日期
1989.09.06
申请号
JP19880048766
申请日期
1988.03.03
申请人
ASAHI GLASS CO LTD
发明人
MATSUI TAKESHI;MIZUHASHI MAMORU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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