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发明名称 TAPE FEEDING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH01223739(A) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 JP19880048860 申请日期 1988.03.02
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI LTD 发明人 OKAMOTO KAZUAKI;KODAMA MASAYOSHI;KATO KAZUHIRO;TAKEI EIJI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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