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发明名称 METHOD OF REFINING RARE GAS HALIDE EXCIMER LASER GAS
摘要
申请公布号 GB2182484(B) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 GB19860022799 申请日期 1986.09.22
申请人 * CENTRAL GLASS COMPANY LIMITED 发明人 KOHZO * HAKUTA;MINORU * ARAMAKI;TAKASHI * SUENAGA
分类号 H01S3/036;H01S3/225 主分类号 H01S3/036
代理机构 代理人
主权项
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