发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01223768(A) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 JP19880048650 申请日期 1988.03.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO NORIAKI
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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