发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01223722(A) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 JP19880050204 申请日期 1988.03.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO JUNJI
分类号 H01L21/203;H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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