发明名称 CHUCK BOARD FOR VACUUM ADSORPTION CHUCK DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01222838(A) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 JP19880047487 申请日期 1988.03.02
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 ONO TOMOHIRO
分类号 B23Q3/18 主分类号 B23Q3/18
代理机构 代理人
主权项
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