发明名称 Use of polyacetals as complexing agents in the chemical deposition of copper, and process for the chemical deposition of copper.
摘要 Die Erfindung betrifft die Verwendung von Polyacetalen, die erhältlich sind durch Umsetzung von a) Dialdehyden der Formel OHC - An - CHO , in der <IMAGE> b) mindestens 2 OH-Gruppen enthaltenden Polyolcarbonsäuren, die 4 bis 7 C-Atome aufweisen, im Molverhältnis (a):(b) von 1:0,5 bis 1:3, als Komplexbildner in Bädern für die chemische Abscheidung von Kupfer und ein Verfahren zur chemischen Abscheidung von Kupfer.
申请公布号 EP0331000(A1) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 EP19890103148 申请日期 1989.02.23
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 OFTRING, ALFRED, DR.;TSCHANG, CHUNG-JI, DR.;WINKLER, EKHARD, DR.;GOTSMANN, GUENTHER, DR.;GLASER, KLAUS
分类号 C23C18/40;H05K3/18 主分类号 C23C18/40
代理机构 代理人
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