发明名称 |
Use of polyacetals as complexing agents in the chemical deposition of copper, and process for the chemical deposition of copper. |
摘要 |
Die Erfindung betrifft die Verwendung von Polyacetalen, die erhältlich sind durch Umsetzung von a) Dialdehyden der Formel OHC - An - CHO , in der <IMAGE> b) mindestens 2 OH-Gruppen enthaltenden Polyolcarbonsäuren, die 4 bis 7 C-Atome aufweisen, im Molverhältnis (a):(b) von 1:0,5 bis 1:3, als Komplexbildner in Bädern für die chemische Abscheidung von Kupfer und ein Verfahren zur chemischen Abscheidung von Kupfer.
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申请公布号 |
EP0331000(A1) |
申请公布日期 |
1989.09.06 |
申请号 |
EP19890103148 |
申请日期 |
1989.02.23 |
申请人 |
BASF AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
OFTRING, ALFRED, DR.;TSCHANG, CHUNG-JI, DR.;WINKLER, EKHARD, DR.;GOTSMANN, GUENTHER, DR.;GLASER, KLAUS |
分类号 |
C23C18/40;H05K3/18 |
主分类号 |
C23C18/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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