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发明名称 HOT WALL EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01219096(A) 申请公布日期 1989.09.01
申请号 JP19880044803 申请日期 1988.02.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIJIMA YOSHITO;EBE KOJI
分类号 H01L21/203;C30B23/02 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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