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发明名称 PRODUCTION OF THIN SUPERCONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH01219023(A) 申请公布日期 1989.09.01
申请号 JP19880047159 申请日期 1988.02.29
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KURODA KENICHI;YAMAMOTO MASASHI;MUKODA MASASHI;MIYAZAWA SHINTARO
分类号 H01L39/24;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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