CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION APPARATUS,申请号JP19880043840-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH01219164(A)	申请公布日期	1989.09.01
申请号	JP19880043840	申请日期	1988.02.26
申请人	MITSUBISHI HEAVY IND LTD	发明人	FURUKAWA HEIZABURO;KATAYAMA KAZUMI;KAWASHIMA YASUHIRO;HIRAI ETSURO
分类号	C23C14/56	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
主权项
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