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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0128679(Y2) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19820078792U 申请日期 1982.05.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/50;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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